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日本新宇宙XP-703D 泄漏检测(半导体用)

简要描述:一、特点:最适用于半导体材料气体的超微量泄漏检测

  • 产品型号:日本新宇宙
  • 厂商性质:
  • 更新时间:2024-01-02
  • 访  问  量:2219
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一、特点:
最适用于半导体材料气体的超微量泄漏检测。
通过报警灯及蜂鸣器即可得知气体泄漏。

二、技术参数:

型号

 XP-703D

检测原理

 热线型半导体式

检测对象气体

 半导体材料气体(砷化三氢、磷化氢、乙硼烷、硅烷等)

能检测的泄漏量



能检测的浓度

  砷化三氢

 
AsH3

 
1.0 ×10-7

 
0.2          

 磷化氢

 
PH3

 
1.5 ×10-7

 
0.3

 乙硼烷

 
B2H6

 
0.5 ×10-7

 
0.1

 硅烷

 
SiH4

 
2.5 ×10-7

 
0.5

 氢气

 
H2

 
5 ×10-7 Pa·m3 /s

 
1.0 ppm

应答时间

 10秒

检测表示

 蜂鸣器发出断续音且报警灯闪烁

电源

 5号锰干电池4节

电池使用时间※1

 使用碱性干电池使用约9小时(使用锰干电池约3小时)

使用温度范围

 0℃~40℃

外形尺寸

 W68×H155×D32mm

重量

 约400g(包括电池)

附件

 皮套、吸引过滤器、过滤片、检查气体、标准辅助橡胶管、5号锰干电池4本

另售的选购品

 Ni-Cd电池专用充电器、耳机

※1 也可使用碱性干电池、Ni-Cd电池。


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